超精密零件加工在尺寸精度、形狀精度、表（biǎo）麵質量等多個方（fāng）麵都（dōu）有極其嚴格（gé）的要求，以下是具體介紹：
尺寸精度
公差範圍極小：超精密零件的尺寸公差通常被控（kòng）製在微米（mǐ）（μm）甚至納米（mǐ）（nm）級別。例如，在航空（kōng）航天領域，一些發動（dòng）機葉片的關鍵尺寸（cùn）公差可能要求控製在 ±5μm 以內；在半導體製造中，芯片製造所使用的光刻掩膜版的線條（tiáo）寬度公差可達到 ±10nm 左右。
一致（zhì）性要求高：對於一批超（chāo）精密零件，不（bú）僅單個（gè）零件要滿足高（gāo）精度要求，而且零件之間的（de）尺寸一致性也必須極高。以手機攝像頭中的微型光學鏡片為例（lì），同一批次鏡片的直徑尺寸偏差要控製在極小範圍內，否（fǒu）則會影（yǐng）響攝像頭的成像質量。
形狀精度
平麵度：要求零件的表麵平（píng）整度極高，例如，精密光學平麵（miàn）鏡的平麵度可能（néng）要求（qiú）達（dá）到（dào） λ/10 甚至更高（λ 為（wéi）光的波長，通常取 632.8nm），即平麵的起伏偏差在幾十納（nà）米以內。
圓度：像航空發動機的渦輪軸等關鍵零件，其圓度誤差通常要求控製在 0.001mm 以下，以確保在高速旋轉（zhuǎn）時的（de）穩定性和可靠（kào）性。
圓柱度：對於一些高精度的液壓油缸、氣動元件等（děng），圓柱度要求嚴格，可能在 0.002mm - 0.005mm 之間，以（yǐ）保（bǎo）證良好（hǎo）的密封（fēng）性和運動精度。
位置精度
同軸度：在汽車發動機的曲軸加工中，各軸頸的同軸度誤（wù）差一般要求控製在 0.02mm - 0.05mm 之間，否則會影響發動機（jī）的動力輸出和穩定性。
垂直度（dù）與平行度：在精密模具製造中，模具的上下模板之（zhī）間（jiān）的平行度誤差通常要求控製在 0.05mm 以內，以保證模具在合模時（shí）的精度（dù），從而生產出高質量的產品。
表麵質（zhì）量
表麵粗糙度：超精密零件的表麵（miàn）粗糙度（dù）一般（bān）要求達到 Ra0.1μm - Ra0.01μm 甚至更低。如硬（yìng）盤的磁頭滑塊表麵，為了減少與磁盤的（de）摩擦和提高讀寫性能，表麵粗糙度可能達到 Ra0.005μm 左右。
表麵完整性：除了粗糙（cāo）度外，還要求表麵無微觀裂紋、劃痕、毛刺、氧化層等缺陷。例（lì）如在光（guāng）學鏡片（piàn）的加工（gōng）中，表（biǎo）麵任何微小的劃（huá）痕或裂紋都可能導致光線散（sàn）射，影響光學性（xìng）能。
材料性能一致性
微觀組織均勻性：零件材料的微觀組織如晶粒大小、相組成等要均勻一致。以高強度合（hé）金鋼製造的航空零（líng）部件（jiàn）為例，若材料微觀組織（zhī）不均勻，會導致零件（jiàn）在受力（lì）時出（chū）現局部應力集中，降低零件的整體性能和使用壽命。
性能穩（wěn）定性：材料的力（lì）學（xué）性能、物理性能等要穩定。在電子元器（qì）件製造中，用於製造芯片的半導體材料，其電阻率、載流子（zǐ）遷移率等性（xìng）能參數必須（xū）在（zài）嚴格的範圍（wéi）內，否則會影響芯片的性能和可靠性。
裝配精度
間隙（xì）配（pèi）合精度：在機械手表的機芯裝配中，齒輪與軸之間的間隙配合精度通（tōng）常要求控（kòng）製在 0.01mm - 0.03mm 之間，以保證手（shǒu）表的走時精度。
過盈配合精度：在汽車發動機的活塞與活塞銷裝配中，過盈量一般控製在 0.03mm - 0.05mm 之間，確保（bǎo）活塞與活塞銷之間既能傳遞動力，又（yòu）能在不同工況下保持良好的（de）工作狀態。
